摘要：本发明公开了一种SF6开关柜的氦质谱检漏的方法，系统电气控制通过PLC来实现，将SF6开关柜置于真空箱内，连接好SF6开关柜的抽空管道，系统自动的完成对真空箱体、SF6开关柜的抽空，待抽空完成，氦气充注回收系统向SF6开关柜充注一定压力的氦气，SF6开关柜中的氦气充注氦气完成，开启检漏真空挡板阀，通过氦质谱检漏仪显示漏率变化，来判断SF6开关柜密封情况，从而判断被检SF6开关柜密封性是否合格。同时，采用真空箱抽空与SF6开关柜抽空同时进行，并实时监测箱体与SF6开关柜的压力，保证SF6内外压差在一定的范围内，从而确保了工件不会因为内外压差过大而造成损坏。
- 专利类型发明专利
- 申请人安徽皖仪科技股份有限公司;
- 发明人朱长平;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园B幢皖仪大厦
- 申请号CN201610703759.5
- 申请时间2016年08月22日
- 申请公布号CN106370359A
- 申请公布时间2017年02月01日
- 分类号G01M3/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
