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    基于表面波照明的傅里叶域迭代拼接超分辨显微方法及装置

      摘要:本发明公开了一种基于表面波照明的傅里叶域迭代拼接超分辨显微方法,包括:1)通过改变入射照明光的照明角度,激发样品与空气界面处沿不同方向传播的表面波;2)表面波照明样品产生沿与之对应横向波矢的频谱搬移,将物体高频分量搬移到物镜低通带范围内;3)CCD拍摄各照明角度下对应的图像,然后代入到傅里叶域迭代拼接(FP)算法中,最终重构出复杂样品的强度与相位分布。本发明还公开了一种基于表面波照明的傅里叶域迭代拼接超分辨显微装置。本发明所恢复的定量相位无需采用干涉获取,其计算所恢复的刻蚀光栅样品的刻蚀深度,通过AFM检测验证了其正确性,在材料和生命科学中具有广阔的应用前景。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人浙江大学;
    • 发明人刘旭;刘秋兰;匡翠方;方月;
    • 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
    • 申请号CN201610663266.3
    • 申请时间2016年08月12日
    • 申请公布号CN106296585A
    • 申请公布时间2017年01月04日
    • 分类号G06T3/40(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;