γ?TiAl合金表面(Al₂O₃+Y₂O₃)/AlYMoSi多层结构涂层及其制备方法

　　摘要：本发明公开了一种γ?TiAl合金表面(Al₂O₃+Y₂O₃)/AlYMoSi多层结构涂层及其制备方法，该涂层包括表层(Al₂O₃+Y₂O₃)陶瓷层和次表层AlYMoSi合金层，所述的表层和次表层依次交替排列形成所述的多层结构涂层，所述的多层结构涂层通过AlYMoSi合金层与基体γ?TiAl合金表面连接，其步骤为：采用磁控溅射技术，通过分别对(Al₂O₃+Y₂O₃)靶材和AlYMoSi靶材交替进行溅射，通过对工作气压、溅射功率、以及靶材?基体间距等工艺参数的调节与控制，在基体γ?TiAl合金表面形成(Al₂O₃+Y₂O₃)/AlYMoSi多层结构涂层。该方法效率高、工艺简单，且制备的(Al₂O₃+Y₂O₃)/AlYMoSi多层结构高温防护涂层结构致密、性能优良。

专利类型发明专利
申请人常熟理工学院;
发明人徐一;刘万辉;吴佳惠;孙德勤;周雪峰;王剑;卢斌峰;蒋操;
地址215500 江苏省苏州市常熟市南三环路９９号
申请号CN201610717410.7
申请时间2016年08月25日
申请公布号CN106256928A
申请公布时间2016年12月28日
分类号C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;