摘要:本发明公开了一种坩埚升降法单晶金属生长炉,包括炉体,所述炉体内部一侧顶端固定有步进电机,所述步进电机底端与丝杆进行传动连接,所述丝杆上安装有滑块;所述炉体内部另一侧固定有加热炉,所述加热炉中间贯穿设置有炉管,所述炉管与滑块相互固定连接,所述炉管顶端连接有法兰,所述炉管底端连接有真空计;所述炉体内部底端还固定有变压器。本发明通过升降机构实现加热炉匀速起落,能够通过调节电机转速,自由控制升降速度,满足晶体结晶点的变化要求,整套设备结构设计简洁合理,科学实用,适合推广和使用。
- 专利类型发明专利
- 申请人安徽贝意克设备技术有限公司;
- 发明人孔令杰;张志琴;吴克松;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区科学大道110号
- 申请号CN201610891676.3
- 申请时间2016年10月12日
- 申请公布号CN106222733A
- 申请公布时间2016年12月14日
- 分类号C30B11/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I;