摘要：本发明公开了一种白光干涉原子力显微镜探针自动标定系统及自动标定方法，其中实现自动标定控制方法中主要涉及的自动标定系统包括：标定样板，原子力探针组件，原子力探针，干涉显微物镜，面CCD及光路系统，水平二维电机运动平台，垂直电机运动和垂直纳米位移平台。按照本发明实现的自动标定系统以及根据该标定样板执行的标定方法，根据标定样板上的光强与探针表面的光强的对比关系来控制垂直电机运动平台和垂直纳米位移平台运动，从而控制探针接触到标定样板上的位置，由此完成标定，此方法能进一步提高标定速度，并且操作简单。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人卢文龙;曾春阳;刘晓军;周莉萍;庾能国;杨文军;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201610801968.3
- 申请时间2016年09月05日
- 申请公布号CN106199079A
- 申请公布时间2016年12月07日
- 分类号G01Q60/24(2010.01)I;G01Q70/00(2010.01)I;
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