摘要：本发明公开了一种插板阀控制真空度系统及其控制方法，包括真空腔室、PLC、真空规管和计算机，真空腔室的进气口和出气口分别设置有流量计和真空抽气机组，真空抽气机组与真空腔室之间的管路中设置有采用步进电机驱动的电动插板阀，真空规管与真空腔室内部连通，真空规管的检测信号输出端与PLC的真空度检测信号输入端连接，PLC与计算机通信连接，PLC的控制信号输出端与电动插板阀的电机控制信号输入端连接，通过真空规管循环检测真空腔室内的真空度，如果实际真空度与设定真空度差值不等于0，则采用电动插板阀控制出气量，如果实际真空度与设定真空度差值等于0，则说明真空度已经调节到了预设值。本发明控制精度高，可节约气体和减少废气排放。
- 专利类型发明专利
- 申请人成都中科唯实仪器有限责任公司;
- 发明人蒋冰霜;马宁;王小军;何吉刚;魏琼林;雷梁;冉从军;
- 地址610041 四川省成都市高新区科园南一路七号
- 申请号CN201610556740.2
- 申请时间2016年07月15日
- 申请公布号CN106195391A
- 申请公布时间2016年12月07日
- 分类号F16K31/04(2006.01)I;G05B19/05(2006.01)I;
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