摘要:本发明涉及一种二维折射率分布与三维形貌同时动态测量的方法,利用数字全息显微术全场、高分辨率及动态测量的优点,将短边抛光的道威棱镜引入到测量光路,实现全内反射数字全息显微光路与透射式数字全息显微光路的集成。借助角度复用与偏振复用技术,利用透射式数字全息显微光路动态记录包含物体折射率和厚度分布(或形貌)信息的物光波相位分布信息,利用全内反射数字全息显微光路同步记录物体的二维折射率分布信息,通过简单的数学运算,从而实现对物体二维折射率分布与三维形貌的同时动态测量。所涉及的测量方法无需额外的填充溶液,适用于透明/半透明液体或固体的测量,克服了已有方法的不足。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人赵建林;张继巍;马超杰;邸江磊;
- 地址710072 陕西省西安市碑林区友谊西路127号
- 申请号CN201610445233.1
- 申请时间2016年06月20日
- 申请公布号CN106123770A
- 申请公布时间2016年11月16日
- 分类号G01B9/023(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I;