摘要：本发明公开了一种镀膜机，包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，装料机构设置于真空炉顶端靠近边缘处，装料机构的底部与真空炉连通；溅射靶组位于真空炉顶端且与装料机构相邻处；传动输送机构设置于真空炉内且与溅射靶组对应，传动输送机构的底端与真空炉的底部内侧可拆卸连接；真空抽吸组位于真空炉的外侧并通过管道与真空炉相通；装料机构内侧壁上设置有一加热系统；传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与控制中心电连接。本发明中的镀膜机分三个阶段抽真空，保证抽真空时不产生明显压差，避免粉末飞起；传动输送机构一体设置便于拆卸替换或清理，还可根据粉体颗粒的大小进行合适的振动源的调节。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京泰科诺科技有限公司;
- 发明人彭建;施戈;李长栋;田琳;
- 地址100000 北京市昌平区崔村镇西辛峰村南6区1号
- 申请号CN201610773101.1
- 申请时间2016年08月30日
- 申请公布号CN106119800A
- 申请公布时间2016年11月16日
- 分类号C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
