一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法

　　摘要：本发明公开了一种负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料的制备方法，包括如下步骤：1)将石墨烯薄膜至于PECVD反应室中，设压力为5×10^?4?10^?3Pa，温度为200?600℃，等离子体产生的微波功率为300?500W，以氩气为载体，通入氟气，反应1?20h，得到氟化石墨烯薄膜；2)将得到的氟化石墨烯薄膜转移至原子沉积腔室中，采用惰性气体除气20min?30min，调节超真空反应腔的真空度为10^?6?10^?7Pa，调节温度为400℃?700℃；3)以银为靶材，通过电子束轰击蒸发形成银反应气源，通入到沉积腔室中，时间为20?100ns，再通入惰性载气50?200ns，重复步骤5?20min，交替通入银反应气源和惰性载气，在氟化石墨烯薄膜上生长形成纳米银，得到负载有纳米银的氟化石墨烯复合材料。本发明得到的复合材料具有优良性能。

专利类型发明专利
申请人厦门烯成石墨烯科技有限公司;
发明人王振中;
地址361015 福建省厦门市火炬高新区创业园伟业楼南楼S301c室
申请号CN201610594377.3
申请时间2016年07月26日
申请公布号CN106086820A
申请公布时间2016年11月09日
分类号C23C16/511(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;