摘要：本发明公开了一种工作台自适应调平装置，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。本发明其体积小，质量轻，结构稳定可靠，涉及接触式光刻机设备技术领域，对手动对准定位及自动对准定位均适用。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市矽电半导体设备有限公司;
- 发明人韦日文;王胜利;胡泓;
- 地址518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道中心城龙城工业园路3号特发龙飞E栋创业大厦二楼
- 申请号CN201610378576.0
- 申请时间2016年05月31日
- 申请公布号CN106066580A
- 申请公布时间2016年11月02日
- 分类号G03F7/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
