摘要：本发明公开了一种基于空间隔离的纳米颗粒原子层沉积装置及方法，本发明使待包覆的纳米颗粒随气流通过分布有多个电极的管路，颗粒经过电极时由于尖端放电作用带上同种电荷，从而使纳米颗粒间相互排斥，防止团聚，达到分散颗粒的目的，然后通过清洗区域或前驱体反应区域，实现纳米颗粒的均匀包覆。本发明采用空间隔离的原理，使原子层沉积不同过程互不影响，能实现常压下纳米颗粒的快速均匀包覆，提高了沉积薄膜的包覆率、均匀性以及粉体表面包覆的效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人陈蓉;巴伟明;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201610371245.4
- 申请时间2016年05月30日
- 申请公布号CN106048559A
- 申请公布时间2016年10月26日
- 分类号C23C16/455(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
