摘要：本发明为一种1×N通道的MEMS光开关模块，含有镜片的MEMS芯片安装于基座，含有光纤阵列和阵列透镜的多芯准直器安装于管帽内，光纤阵列从管帽的外端引出，管帽内端与基座内端相配合固接。N为1～24。光纤阵列中一根输入光纤位于中心，N根输出光纤为以中心为对称的圆形阵列或矩形阵列。光窗直径大于光纤阵列直径。MEMS芯片、管帽光窗、阵列透镜及光纤阵列的中心处于同一直线上。基座中心的MEMS芯片周围有6个与基座绝缘的焊盘，与MEMS芯片的功能焊点键合。基座的外端的6个管脚分别对应连接6个焊盘。本发明输入、输出光纤位于MEMS芯片同一侧，所需元器件显著减少，通道数多、结构紧凑、体积小；一次反射实现光路转换，响应速度提高。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国电子科技集团公司第三十四研究所;桂林大为通信技术有限公司;桂林信通科技有限公司;
- 发明人周剑超;张策;李流超;黄涌;李云燕;郑安贵;唐炳促;黄景元;李栋;林之华;
- 地址541004 广西壮族自治区桂林市六合路98号
- 申请号CN201610625919.9
- 申请时间2016年08月01日
- 申请公布号CN106019490A
- 申请公布时间2016年10月12日
- 分类号G02B6/35(2006.01)I;
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