摘要:本发明涉及一种检测非球面的相位测量偏折方法,该方法基于朗奇检测的几何原理对改进的非球面相位测量偏折检测方法进行逆向光路分析,获得待测镜面相对于其理想面形的偏差梯度,积分这些梯度恢复待测镜面偏差,进而重建待测面形,从而实现对非球面进行非接触的全场检测。该方法避免了现有相位测量偏折术或朗奇检测中需通过移动显示屏、标定或近似来得到入射光线,给非球面的检测带来较大的方便。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海应用技术学院;
- 发明人郭春凤;林晓艳;邹军;居家奇;
- 地址200235 上海市徐汇区漕宝路120号
- 申请号CN201610309060.0
- 申请时间2016年05月11日
- 申请公布号CN106017863A
- 申请公布时间2016年10月12日
- 分类号G01M11/00(2006.01)I;G01B11/25(2006.01)I;