摘要：本发明公开了基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法。其步骤为：1)脉冲激光器探头和激光干涉仪探头放置在工件表面缺陷的一侧；2)脉冲激光器在工件表面激励出声表面波，激光干涉仪分别测得直达表面波信号R1和从缺陷反射回的表面波信号RR1；3)控制二维位移平台运动，使脉冲激光器探头和激光干涉仪探头在表面缺陷的另外一侧；4)重复步骤2)，干涉仪测得直达表面波信号R2和从缺陷反射回的表面波信号RR2；5)通过两次干涉仪测量得到的直达表面波信号和缺陷回波信号到达时间，以及二维运动平台运动位移d，计算出表面缺陷的开口宽度。本发明能够用于在位检测，且对于不同内部形状的开口缺陷均能准确测得开口的宽度。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人居冰峰;王传勇;薛茂盛;朱吴乐;孙泽清;孙安玉;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201610524370.4
- 申请时间2016年06月29日
- 申请公布号CN106017371A
- 申请公布时间2016年10月12日
- 分类号G01B17/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
