摘要：透射电子显微镜用压电驱动式双轴倾转样品杆，主要包括手握柄，样品杆杆身，样品杆头端和用于装载样品的样品杯，样品杯与![]()
轴固定，![]()
轴与样品杆头端可转动连接；样品杆头端设置驱动![]()
轴步进式转动的驱动件，驱动件与![]()
轴紧密接触，驱动件从第一位置运动到第二位置时，![]()
轴步进一个角度行程![]()
；驱动件从第二位置复位到第一位置时，![]()
轴固定；驱动件从第一位置运动到第二位置和从第二位置复位到第一位置组成一个运动周期，![]()
轴的转动角度=N*![]()
，其中N为运动周期的个数。本发明具有驱动样品杆绕![]()
轴转动的装置体积小，且能使倾转角度超过![]()
30?o的优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人王宏涛;刘嘉斌;
- 地址310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 申请号CN201510090691.3
- 申请时间2015年02月28日
- 申请公布号CN105990079A
- 申请公布时间2016年10月05日
- 分类号H01J37/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
