摘要:本发明公开了<311>直拉硅片的一种热处理方法。所述热处理方法包括以下步骤:(1)在氧气气氛下,将直拉硅片在1200~1250℃下热处理5~10分钟;(2)在保护性气体气氛下,将经步骤(1)处理的直拉硅片以50~60℃/秒的升温速度加热到1200~1250℃并保持60秒,然后以50~80℃/秒的冷却速度冷却到600℃,再自然冷却;(3)在保护性气体气氛下,将经步骤(2)处理的直拉硅片在800℃下热处理4小时;(4)在保护性气体气氛下,将经步骤(3)处理的直拉硅片在1000℃下热处理8小时。本发明方法能有效消除COP,降低<311>硅片近表面的缺陷数,降低表面平均微粗糙度。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人马向阳;蒋立伟;杨德仁;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201610304862.2
- 申请时间2016年05月09日
- 申请公布号CN105977152A
- 申请公布时间2016年09月28日
- 分类号H01L21/324(2006.01)I;