一种真空炉

　　摘要：本发明公开了一种真空炉，包括固定在操作箱的侧壁上的第一真空腔室、固定在操作箱的侧壁上的第二真空腔室、用于盖设第二真空腔室的腔盖。第二真空腔室容置于所述第一真空腔室内部；在第二真空腔室的内部设置有载物台，所述载物台上放置工件；而在所述第二真空腔室的外壁覆盖有密闭的加热腔室，在所述加热腔室内部设置有加热组件，所述加热组件沿所述第二真空腔室的外壁依次排列，用于对所述第二真空腔室进行加热，此结构可将加热组件和工件区分，进而避免加热组件对工件的污染，提高工件的质量。

专利类型发明专利
申请人成都西沃克真空科技有限公司;
发明人向勇;傅绍英;杨小军;
地址610200 四川省成都市双流县蛟龙工业港（双流园区）东海路六段680号
申请号CN201610380708.3
申请时间2016年05月31日
申请公布号CN105890345A
申请公布时间2016年08月24日
分类号F27B5/05(2006.01)I;F27B5/02(2006.01)I;F27B5/06(2006.01)I;F27B5/14(2006.01)I;F27B5/16(2006.01)I;