摘要：本发明公开了一种旋转均匀受热式微探针尖端热成形装置，涉及微探针尖端加工制造领域。该装置包括：CO2激光器、合束镜、红光指示器、聚焦镜、定位夹具、旋转平台、微探针支架和位移平台。所述的激光器发出的激光经过聚焦镜的作用后汇聚在聚焦镜的右侧焦点a处，所述的微探针毛坯的待加工区域通过位移平台的驱动调整到a点处，同时微探针毛坯再在旋转平台的驱动下绕其轴线旋转，使待加工区域均匀受热。采用上述方法对微探针进行热加工，能够使微探针尖端均匀受热，提高热应力分布均衡性，加工后的微探针不弯曲、不变形，具有高几何对称精度和尖端形貌。
- 专利类型发明专利
- 申请人四川大学;
- 发明人许斌;尹德强;刘乾乾;
- 地址610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
- 申请号CN201610306692.1
- 申请时间2016年05月11日
- 申请公布号CN105855695A
- 申请公布时间2016年08月17日
- 分类号B23K26/00(2014.01)I;
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京公网安备11010802043465号
