摘要：本发明公开了一种探针式轮廓仪形貌测量动态误差的控制方法，涉及探针式轮廓仪形貌测量领域，以下步骤，(1)、确定轮廓仪形貌测量基本参数；(2)、构建测量力模型以及测量力分析；(3)、构建探针跳动的动力学模型；(4)、被测工件形貌测量的仿真；(5)、根据测量要求，优化选择测量速度与工件装夹高度。本发明不需要修改轮廓仪的硬件结构，针对具体的被测工件和测量要求设置扫描速度与工件的装夹高度，实现对测量动态误差和测量力的优化控制。
- 专利类型发明专利
- 申请人四川大学;
- 发明人许斌;刘乾乾;赵世平;
- 地址610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
- 申请号CN201610312680.X
- 申请时间2016年05月12日
- 申请公布号CN105841658A
- 申请公布时间2016年08月10日
- 分类号G01B21/20(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
