摘要：本发明提供一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统，包括：探测光学组件、光学转向镜、可旋转激光头和外光路组件，光束通过所述探测光学组件实现双通道的光学探测，所述光学转向镜用于实现光束的下移和转向以适应所述探测光学组件的探测需求，所述可旋转激光头为设置于所述探测光学组件和外光路组件之间的可旋转回光部件，所述外光路组件用于测量所述光学系统的外光路。本发明通过三维光学转向镜大大简化了垂直方向直线度测量的设置和步骤，所述探测光学组件实现双通道的光学探测，简化了光学系统的光学元件，最大化的利用了光学元件，节约仪器设计的空间；同时，所述可旋转激光头的激光回光孔设计得更为合理，充分利用了现有的孔位。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市中图仪器科技有限公司;
- 发明人刘龙为;张和君;张珂;陈源;
- 地址518049 广东省深圳市南山区西丽学苑大道1001号智园B1栋二层
- 申请号CN201610323294.0
- 申请时间2016年05月13日
- 申请公布号CN105841638A
- 申请公布时间2016年08月10日
- 分类号G01B11/27(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
