摘要：本发明提供一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器，所述PVDF超声换能器电极的制作方法，包括：获取电极的图案；将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上，所述PVDF导电薄膜的上下表面的电极为铝电极，且其上表面涂有感光材料；对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处理，得到带有所需电极图案的PVDF压电薄膜。相对于现有的复杂电极PVDF超声换能器制作方法，基于上述方法制作的PVDF超声换能器有更高的灵敏度，且有工艺简单、价格低等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人湖南大学;
- 发明人王波;彭宽;肖嘉莹;朱自强;
- 地址410082 湖南省长沙市麓山区岳麓山南路麓山门
- 申请号CN201610207534.0
- 申请时间2016年04月05日
- 申请公布号CN105772380A
- 申请公布时间2016年07月20日
- 分类号B06B1/06(2006.01)I;B06B3/04(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
