摘要：本发明涉及一种用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置。所述用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置包括等离子体-小分子反应单元(1)，飞秒激光电离系统(2)，离子提取系统(3)，质量分析器(4)，真空腔体(5)。其中，纳秒激光溅射固体靶材用于产生等离子体，气相小分子经过毛细管进入等离子体产生区域，并且与等离子体在靶材表面附近发生反应。采用飞秒激光电离技术对反应产物进行电离，最后，结合飞行时间质谱技术对反应产物进行分析并加以确认。该装置可以准确、高效、实时地表征等离子体与气相分子反应的产物构成，为生产加工过程中所存在的实际的等离子体与气体反应的准确认知提供模型支持。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院大连化学物理研究所;
- 发明人刘本康;王利;王艳秋;边晨光;李晓营;
- 地址116023 辽宁省大连市中山路457号
- 申请号CN201410787348.X
- 申请时间2014年12月17日
- 申请公布号CN105762055A
- 申请公布时间2016年07月13日
- 分类号H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
