摘要：一种用于化学汽相沉积的转盘反应器，其包括真空室和铁磁流体穿通件，该铁磁流体穿通件包括上部和下部铁磁流体密封件，马达轴通过该铁磁流体穿通件进入真空室中。马达联接至马达轴，并且定位在上部和下部铁磁流体密封件之间的大气区域中。转台定位在真空室中，并且联接至马达轴，从而马达按所需转速转动转台。介电支架联接至转台，从而转台当由轴驱动时转动介电支架。基片载体定位在用于化学汽相沉积处理的真空室中的介电支架上。加热器定位成靠近基片载体，该加热器将基片载体的温度控制到化学汽相沉积所需的温度。
- 专利类型发明专利
- 申请人维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司;
- 发明人L·S·巴里斯;R·A·科穆纳莱;R·P·弗雷姆根;A·I·古拉雷;T·A·卢斯;R·W·米尔盖特三世;J·D·波洛克;
- 地址美国纽约
- 申请号CN201610120769.6
- 申请时间2013年05月09日
- 申请公布号CN105734532A
- 申请公布时间2016年07月06日
- 分类号C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;
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