摘要：本发明公开了一种微波微扰法测量湿度传感器内壁水膜厚度的系统和方法，测量系统由信号处理及控制器、扫频信号源、隔离器、功率分配器、环形器、微波测量谐振腔、谐振频率扫描模块、压力计和温度计组成；测量方法包括以下步骤：测量微波测量谐振腔在TE111模式下的谐振频率；计算没有水膜时，微波测量谐振腔在TE111模式下的谐振频率；计算水膜引起的谐振频率偏移；求解TE111模式下湿度传感器内壁水膜厚度。本发明基于圆柱波导谐振腔TE111模式下工作，快速、准确测量湿度传感器内壁水膜厚度，为消除水膜厚度对湿度测量结果带来的测量误差，提高湿度测量精度，提供了便利条件。
- 专利类型发明专利
- 申请人华北电力大学（保定）;
- 发明人张淑娥;杨再旺;宋文妙;
- 地址071003 河北省保定市永华北大街619号
- 申请号CN201610287250.7
- 申请时间2016年04月29日
- 申请公布号CN105716548A
- 申请公布时间2016年06月29日
- 分类号G01B15/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
