摘要：本发明公开了一种基于白光干涉原子力探针扫描显微镜探针系统的成像自动调整装置自动及其控制方法，该装置主要包括计算机，夹持机构及铰链机构，原子力探针及其探针组件，白光干涉显微系统，面CCD光路连接筒。在白光干涉原子力探针显微镜连接完成的情况下，根据面CCD上探针的成像与面CCD坐标系的水平夹角，通过计算机来控制舵机偏转一定的角度，使得原子力探针在面CCD中的成像与面CCD坐标系中的夹角在误差范围内，从而得到测量的结果有较小的测量误差。本发明可以实现探针在面CCD中的成像的自动调整，具有便捷控制，控制精度高，操作简单的优势。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人卢文龙;曾春阳;刘晓军;庾能国;杨文军;周莉萍;常素萍;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201610145779.5
- 申请时间2016年03月15日
- 申请公布号CN105699704B
- 申请公布时间2016年12月14日
- 分类号G01Q60/24(2010.01)I;
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