摘要：本发明公开了一种真空排气台，包括真空室，为中空长条型结构；在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口，多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁；阀门，与真空室的排气口连接，其中，真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等；多个尾管座，分别设置在多个第一开口处，尾管座使工件和真空室密封连接。本发明使真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等，进而使真空室的流导等于抽真空装置的流导，有效的解决了近端工件与远端工件真空度存在差值的问题，使离阀门距离最远的尾管座上的工件，其真空度也能达到超高真空，并且同一批工件的真空度都处于同一数量级。
- 专利类型发明专利
- 申请人成都西沃克真空科技有限公司;
- 发明人徐子明;傅绍英;向勇;刘雯;闫宗楷;
- 地址610200 四川省成都市双流县蛟龙工业港（双流园区）东海路六段680号
- 申请号CN201610201381.9
- 申请时间2016年03月31日
- 申请公布号CN105697332A
- 申请公布时间2016年06月22日
- 分类号F04B37/14(2006.01)I;
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