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    一种加热匀胶的旋涂装置

      摘要:本发明涉及一种加热匀胶的旋涂装置,所述装置包含有竖向设置的转轴(5),所述转轴(5)顶部套装有一水平设置的载物盘(1),所述转轴(5)上套装有隔热盘(4)和导电滑环(6),所述隔热盘(4)上安装有加热盘(3),所述加热盘(3)通过导电滑环(6)与电源相连接,上述隔热盘(4)位于加热盘(3)和导电滑环(6)之间,且加热盘(3)位于载物盘(1)的下方。本发明涉及一种加热匀胶的旋涂装置,能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度进行精确控制。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人江苏雷博科学仪器有限公司;
    • 发明人汪竹;陈建锋;曹喜喜;万发能;
    • 地址214434 江苏省无锡市江阴市澄江中路159号C301
    • 申请号CN201610120011.2
    • 申请时间2016年03月03日
    • 申请公布号CN105689209A
    • 申请公布时间2016年06月22日
    • 分类号B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;