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    高亮度发光二极管外延片及其制备方法

      摘要:本发明公开了一种高亮度发光二极管外延片及其制备方法,属于发光二极管领域。该高亮度发光二极管外延片包括:衬底,以及依次覆盖在衬底上的u型GaN层、N型GaN层、多量子阱有源层和P型GaN层,所述N型GaN层包括依次覆盖在所述u型GaN层上的第一N型GaN子层、第二N型GaN子层和第三N型GaN子层,本发明中第二N型GaN子层采用多个生长周期生长而成,且每个生长周期中,先生长一定厚度的GaN,然后再向GaN中通入Si源进行掺杂,这种方式生长出的第二N型GaN子层的载流子浓度较高,因而横向电阻较小,另外发光二极管外延片的台阶面位于第二N型GaN子层上,所以电流由N电极传输下来时横向扩展较为容易,大大提高发光二极管的亮度。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人华灿光电股份有限公司;
    • 发明人孙玉芹;王江波;
    • 地址430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区滨湖路8号
    • 申请号CN201610123884.9
    • 申请时间2016年03月04日
    • 申请公布号CN105679907A
    • 申请公布时间2016年06月15日
    • 分类号H01L33/32(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;