一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法

　　摘要：本发明提供了一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法，包括：步骤1，提供一无涂层的汽轮机转子轮槽量规和一真空炉，真空炉中设置有Ti靶材；步骤2，将无涂层的汽轮机转子轮槽量规置于真空炉内，对无涂层的汽轮机转子轮槽量规的表面进行加靶活化；步骤3，对表面已完成活化的汽轮机转子轮槽量规进行TiN涂层沉积：调节真空炉炉腔温度为180～200℃，向真空炉腔中通入N₂气，N₂气体流量为150～180sccm，对Ti靶材通电作为蒸发源，通电电流为120～140A，在汽轮机转子轮槽量规上加偏压为150～180V，持续15～20min后完成TiN涂层沉积并进入下一步；步骤4，在TiN涂层表面进行DLC涂层沉积。

专利类型发明专利
申请人上海应用技术学院;上海应术电站配件有限公司;
发明人张东民;张而耕;姚松骏;恽庞杰;刘铭心;盛育东;冯全华;曹启伟;陈厚良;
地址200235 上海市徐汇区漕宝路120号
申请号CN201610239273.0
申请时间2016年04月18日
申请公布号CN105671552A
申请公布时间2016年06月15日
分类号C23C28/04(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;