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    一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置

      摘要:本发明涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置,包括真空室、门体、阳极靶、阴极靶、驱动机构和抽真空装置;真空室的上盖与真空室的室底相对,真空室的侧壁连接上盖和室底,以形成一腔室;侧壁上开设有一开口;门体与真空室连接,用于盖设于开口;阳极靶和阴极靶设置在真空室的内部,且,阳极靶与阴极靶相对设置,阴极靶位于室底与阳极靶之间;驱动机构穿过室底与阴极靶相连;抽真空装置与真空室连通。本申请在真空室的侧壁上设置门体,在需要清理沉积物垃圾时,打开侧壁上的门体,将真空吸头从真空室的侧壁伸到内部进行清扫,真空吸头不再需要拐弯,易于清理底部的沉积物垃圾,清理彻底,不会污染下一次沉积过程。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人成都西沃克真空科技有限公司;
    • 发明人向勇;傅绍英;徐子明;孙力;
    • 地址610200 四川省成都市双流县蛟龙工业港(双流园区)东海路六段680号
    • 申请号CN201610200536.7
    • 申请时间2016年03月31日
    • 申请公布号CN105671517A
    • 申请公布时间2016年06月15日
    • 分类号C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;