摘要：本发明公开了一种基于波形匹配方法的石英晶片研磨控制方法，能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率；本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议，在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态，若出现异常情况实时关停研磨机，防止超频事件的发生，用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率；加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题；提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数，为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据，解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学台州研究院;
- 发明人潘凌锋;郭彬;陈浙泊;陈一信;
- 地址318000 浙江省台州市市府大道西段618号
- 申请号CN201610045507.8
- 申请时间2016年01月22日
- 申请公布号CN105666310A
- 申请公布时间2016年06月15日
- 分类号B24B37/005(2012.01)I;
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京公网安备11010802043465号
