摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体公开一种定位校准装置。本发明包括：旋转轴、四个卡爪，所述卡爪设置在所述旋转轴上，所述卡爪环绕所述旋转轴旋转中心依次布置，所述卡爪两两之间夹角为45度、135度、45度、135度；所述135度夹角方向形成一贯通空间，用于机械手传递晶圆；所述卡爪外边缘环绕形成圆半径小于晶圆半径。本发明利用卡爪结构用于检测键合片偏心的Aligner，相对原有卡爪式Aligner，取消托架结构，而且旋转轴不再需要上升下降，即可完成对键合片的偏心检测功能；同时由于取消了上升下降过程，大大的提高检测速度，且通过适当的降低旋转速度，防止滑片的发生。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人邹风山;姜铁程;刘晓帆;李学威;韩志平;董状;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201410634831.4
- 申请时间2014年11月12日
- 申请公布号CN105655277A
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
