摘要：本发明涉及晶圆检测技术领域，具体公开一种基于DSP的晶圆偏心在线检测装置。本发明的在线检测装置，用于检测晶圆偏心，包括：机器人控制器、真空机械手、第一传感器、第二传感器和工位；所述机器人控制器与所述真空机械手相连；所述第一传感器、第二传感器与所述机器人控制器相连，且所述第一传感器、第二传感器前后布置在传输路径上，所述传输路径为所述真空机械手将晶圆传送至工位的路径。本发明利用采用三点确定圆法，传感器数据采集使用驱动器IO采集，实现检测时间短、成功率高，且可实现对机械手上晶片破损、严重偏位、掉片等异常情况的判断。
- 专利类型发明专利
- 申请人沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
- 发明人邹风山;李崇;张峰;宋吉来;陈守良;韩志平;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
- 申请号CN201410637193.1
- 申请时间2014年11月12日
- 申请公布号CN105655266A
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号H01L21/66(2006.01)I;
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