摘要：本发明公开了一种基于Fano谐振的超高精度波长解析器。波导分束器与多个Fano滤波器的输入端连接，Fano滤波器的输出端经各自的Fano滤波器连接到信号处理模块，待测光由光波导经过波导分束器分成多束光，多束光分别进入到Fano滤波器滤波后输出信号到Ge-Si光电探测器；Fano滤波器中设有TiN热电极，通过加热TiN热电极调节Fano滤波器的输出产生Fano滤波谱线，形成“X”形频谱。本发明实现在该“X”频谱范围内对波长超高精度的检测，其器件制作采用普通的SOI硅片，具有良好的CMOS工艺兼容性，可大规模集成。
- 专利类型发明专利
- 申请人浙江大学;
- 发明人王根成;戴庭舸;杨梅;李宇波;王曰海;杨建义;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- 申请号CN201610072445.X
- 申请时间2016年02月02日
- 申请公布号CN105651400A
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号G01J9/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
