摘要：本发明涉及真空泵技术领域，具体地说是一种用于多级真空泵的防冲击结构和具有该结构的多级真空泵。一种用于多级真空泵的防冲击结构，包括真空泵腔体、压力控制阀门、排气切换阀门及冲击管路，其中真空泵腔体上设有腔体排气口，所述冲击管路的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空泵的排气管路连通，所述冲击管路上设有压力控制阀门和/或排气切换阀门。所述多级真空泵的一级真空泵腔体和二级真空泵腔体上均设有所述防冲击结构。本发明将经过压缩的已经达到许用排气压力的工作介质直接排放到排气口处，由于压缩过程减少，可以减少由于腔体级别压力差产生的反流，可以提高在低真空阶段的抽速。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人王光玉;孔祥玲;张晓玉;雷震霖;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
- 申请号CN201410629537.4
- 申请时间2014年11月10日
- 申请公布号CN105649986A
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号F04C25/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;F04C29/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
