摘要：本发明涉及干式真空泵领域，具体涉及一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统。本发明包括循环水冷源、流量传感器、第一单向阀、水路分配器、多个电磁阀、多个水冷装置、第二单向阀、多个温度传感器和控制主板。本发明的冷却水由进气水路通过流量传感器和单向阀进入水路分配器，根据各支路的电磁阀开启大小以不同流量流经到各支路水冷块(排)，对泵组各部进行冷却降温；根据安置在其对应部位的温度传感器反馈给控制主板，控制系统据此对各电磁阀发出控制指令，电磁阀的开启大小控制分支水路流量，达到闭环控制；总进水路在通过水路分配器后按不同流量呈脉冲方式对各分支水路进行冷却水的分配，以实现对泵体各部温度的实时控制。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人王光玉;孔祥玲;汤剑;雷震霖;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
- 申请号CN201410627868.4
- 申请时间2014年11月10日
- 申请公布号CN105649970A
- 申请公布时间2016年06月08日
- 分类号F04B53/08(2006.01)I;F04B49/06(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
