摘要：本发明公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，本发明设置两个驱动机构，并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系，使本发明工件转架运动机构具有多种不同的运动模式，从而使本发明的工件转架运动机构除完成现有工件转架的三重运动外，还可通过对两个驱动机构的控制，使采用本发明的工件转架运动机构的工件转架的公转与自转均可独立调速。
- 专利类型发明专利
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;潘锐华;罗志明;李志方;
- 地址523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201610099320.6
- 申请时间2016年02月23日
- 申请公布号CN105603377A
- 申请公布时间2016年05月25日
- 分类号C23C14/50(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
