摘要：本发明提供一种能够实现高压检漏的氦质谱检漏仪，在原氦质谱检漏仪外部通过真空管道连接隔膜泵、截流阀座、真空电磁阀、真空计，所述截流阀座内设有控制氦气物理渗透的石英膜片，并将该接口端连接到分子泵的精抽口，利用石英膜片的对氦气的渗透原理和对其它气体的截流，从根本上氦质谱检漏仪的最高检漏压力，隔膜泵保证了在高压力检漏下氦质谱检漏仪检漏的较短响应时间，采用真空电磁阀的切换，可以实现氦质谱检漏仪各种压力下检漏，极大地扩展了氦质谱检漏仪的应用范围。
- 专利类型发明专利
- 申请人安徽皖仪科技股份有限公司;
- 发明人朱长平;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园B幢皖仪大厦
- 申请号CN201510956609.0
- 申请时间2015年12月17日
- 申请公布号CN105571792A
- 申请公布时间2016年05月11日
- 分类号G01M3/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
