摘要：本发明公开了一种基于多轴对称激光束的微探针尖端热成形系统，涉及微探针尖端加工制造领域。该系统主要包括：激光模块、多轴对称光路模块、在线监测模块、探针位置调整模块、信号分析处理模块和激光防护模块等；所述的激光模块发出的CO2激光经过多轴对称光路模块后，形成相对于Z方向对称的四束激光，从探针的四个对称方向对其尖端进行加热成形；所述的在线监测模块可将实时加工信息反馈给信号分析处理模块，并通过信号分析处理模块及时调整探针的加工方案。本系统采用的多轴对称激光束微探针尖端热成形方法，可使探针尖端均匀受热，保证热应力分布平衡，能够快速形成具有较高几何与形貌精度的探针尖端，提高了探针尖端加工成形的质量和效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人四川大学;
- 发明人许斌;尹德强;方辉;刘乾乾;
- 地址610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号
- 申请号CN201610034625.9
- 申请时间2016年01月20日
- 申请公布号CN105537757A
- 申请公布时间2016年05月04日
- 分类号B23K26/00(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;
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京公网安备11010802043465号
