摘要：本发明公开了一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法，该方法是在洁净背景气氛下，将金属氧化物气体传感器在特定工作温度(200-400℃)稳定，然后设定降温速度为1-50℃/s范围内的某一特定速度，程序降温到特定低温(室温-200℃)，获得传感器的电阻随温度的变化曲线Rair-T，作为基底信号；检测气体氛围下，以相同流程控制传感器温度，获得传感器的电阻随温度的变化曲线RGas-T，作为响应信号；将基底信号与响应信号相除，得到Rair/RGas-T的曲线，取该曲线上的最大值max(Rair/RGas)，作为对该气体的敏感度。本发明在不改变金属氧化物材料组分下，相比恒定工作温度测试的方法大幅度提高了气体传感器的敏感活性，增大气体敏感度，从而实现低浓度级别(ppb级)气体的高精度检测。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人张顺平;雷涛;谢长生;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201510897491.9
- 申请时间2015年12月07日
- 申请公布号CN105510402A
- 申请公布时间2016年04月20日
- 分类号G01N27/12(2006.01)I;
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