摘要：本发明提供了一种半导体设备的硅片承载装置中硅片的安全放置方法，通过示教数据设置机械手的运动轨迹和位置，利用机械手片叉上的传感器组来探测片叉和硅片之间的距离测量值，根据距离测量值来计算判断硅片所在平面与机械手的片叉所在平面的截交线方程并据此计算出硅片相对于片叉的倾斜角，从而判断硅片是否会产生滑动，确保硅片放置后不产生滑动。因此，本发明实现了在放片过程中对硅片的位姿进行了判断，从而避免机械手片叉触碰到硅片导致硅片受损，提高了放片过程的安全性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人徐冬;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201511021420.9
- 申请时间2015年12月31日
- 申请公布号CN105489532A
- 申请公布时间2016年04月13日
- 分类号H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
