摘要：本发明公开了一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺，其特征在于：它包括下述步骤：第一步骤，选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底，清洗吹干；第二步骤，将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料；第三步骤，按上述步骤得到的不同配比镀料，在衬底上蒸镀一层Fe-Si混合薄膜；第四步骤，将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800～900℃退火2小时获得Fe-Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。
- 专利类型发明专利
- 申请人贵州大学;
- 发明人谢泉;谢晶;刘栋;高赐国;张晋敏;肖清泉;陈茜;廖杨芳;范梦慧;黄晋;
- 地址550025 贵州省贵阳市贵州大学花溪北校区科技处
- 申请号CN201510905584.1
- 申请时间2015年12月10日
- 申请公布号CN105441877A
- 申请公布时间2016年03月30日
- 分类号C23C14/26(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
