摘要：本发明公开了一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器，主要包括可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、第一反射镜8、第二反射镜14、永磁体16和线圈6，所述部件均容纳于箱体1和盖板5形成的空腔内。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人虞益挺;朱全发;苑伟政;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路127号
- 申请号CN201510764692.1
- 申请时间2015年11月11日
- 申请公布号CN105425384A
- 申请公布时间2016年03月23日
- 分类号G02B26/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
