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    一种多波长入射单发椭偏测量方法

      摘要:本发明涉及一种多波长入射单发椭偏测量方法,首先提供宽光谱激光光源、宽带偏振片、样品、扩束镜、宽带1/4波片、晶体斜劈、宽带检偏器、狭缝、透射光栅、成像屏、面阵相机以及计算机,通过双折射晶体斜劈的偏光干涉将光偏振态的变化转换成一维条纹光斑的移动,采取合理光路设计将多波长入射光对应的条纹分布在另外一个维度上,利用图像技术对光斑内的多组条纹进行定位和处理,在单次测量中即可获得各个波长对应的偏振态信息。本发明的测试方法无机械旋转或光学调制器件,而且测量结果与光强波动无关,可以极大减小系统的测量误差,提高测量的稳定性。本发明的测量速度只受限于相机采集速度,结合高速线阵相机,可以将时间分辨率缩短到毫秒以下。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人福州大学;
    • 发明人马靖;许灿华;裴丽燕;邱鑫茂;吕佩伟;
    • 地址350108 福建省福州市闽侯县上街镇大学城学园路2号福州大学新区
    • 申请号CN201510830357.7
    • 申请时间2015年11月25日
    • 申请公布号CN105403514A
    • 申请公布时间2016年03月16日
    • 分类号G01N21/21(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I;