摘要：本发明提供一种晶体管工艺波动检测系统和检测方法，其中，系统包括待测单元阵列、行列译码器、行列选择器和振荡器；待测单元阵列为由至少两个待测单元组成的阵列；行列译码器分别与各待测单元连接，用于选定待测单元；行列选择器分别与振荡器和各待测单元中的待测晶体管连接，用于将选定的待测晶体管连接至振荡器；振荡器将待测晶体管的输出信号转换为脉冲信号，脉冲信号的频率与待测晶体管的阈值电压对应，以通过脉冲信号频率的波动确定待测晶体管的阈值电压的波动。本发明提供的晶体管工艺波动检测系统和检测方法能够解决现有的半导体晶体管工艺波动的检测方法较复杂的问题，实现了对晶体管工艺波动进行快速、简便地检测。
- 专利类型发明专利
- 申请人龙芯中科技术有限公司;
- 发明人秦石强;张译夫;杨梁;崔明艳;肖斌;
- 地址100095 北京市海淀区中关村环保科技示范园龙芯产业园2号楼
- 申请号CN201410409294.3
- 申请时间2014年08月19日
- 申请公布号CN105353288A
- 申请公布时间2016年02月24日
- 分类号G01R31/26(2014.01)I;
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京公网安备11010802043465号
