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    一种硅基光分束器及其制造方法

      摘要:本发明公开了一种硅基超材料光分束器及其制造方法,属于集成光子器件领域;现有技术中的50:50光功率分束器工作宽带窄,端口一致性差,损耗高;本发明的光分束器,包括基片,所述基片包括一个输入波导和两个输出波导,在所述输入波导和输出波导之间具有N×N个同等大小的像素块组成的耦合区域;通过对所述像素块进行打孔,通过优化算法形成特殊的打孔阵列,由于亚波长尺寸的空气孔阵列的排布可以等效为一种非均匀缓变的折射率分布区域,可以同时对不同的波长进行引导,从而使得不同的波长都能够达到在输出端口有效输出的目的,进而实现了大工作带宽的目的。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人华中科技大学;
    • 发明人张敏明;卢鲁璐子;周飞亚;刘德明;
    • 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
    • 申请号CN201510926338.4
    • 申请时间2015年12月14日
    • 申请公布号CN105334575A
    • 申请公布时间2016年02月17日
    • 分类号G02B6/125(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I;