摘要：本发明公开了一种可调谐宽波段激光等离子体极紫外光源。包括脉冲激光器以及设置在真空腔中的反射镜、聚焦透镜、镓铟锡合金靶材和收集镜；工作时，所述脉冲激光器发出的激光被所述反射镜反射后到达所述聚焦透镜，在所述镓铟锡合金靶材的液面上形成聚焦光斑，激发所述镓铟锡合金靶材产生等离子体，等离子体辐射产生极紫外光，极紫外光被所述收集镜收集后用作测试光源。产生的极紫外光在13.X?nm和6.X?nm波段均有较强辐射，并且通过控制作用在靶材上的激光功率密度，能有效控制两个波段的辐射强度。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人刘璐宁;王新兵;左都罗;陆培祥;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201510671260.6
- 申请时间2015年10月13日
- 申请公布号CN105333953A
- 申请公布时间2016年02月17日
- 分类号G01J3/10(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
