摘要：本发明公开了一种可溯源白光干涉原子力探针自动定位工件方法，该方法包括如下步骤：在纳米级位移平台运动之前记录下激光干涉位移计量系统的初始位移；接着其在垂直方向上快速产生一个适量的位移，在位移发生后通过零级条纹的移动量是否在阈值范围内来判断原子力探针是否定位到工件，而如果纳米级垂直位移平台在到达极限的位移运动时还未定位到工件，记录下其最终位置，并将纳米级垂直位移平台复位，重复上述步骤，直至定位到工件。按照本发明设定的自动定位的方法，不受原子力探针与工件之间的距离限制，同时在定位过程中对位移进行计量，可实现可溯源，而采用零级条纹的移动量来判断探针是否定位到工件具有定位快速和高精度的显著效果。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人卢文龙;庾能国;刘晓军;杨文军;曾春阳;周莉萍;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201510703077.X
- 申请时间2015年10月26日
- 申请公布号CN105242074B
- 申请公布时间2016年06月22日
- 分类号G01Q10/00(2010.01)I;
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京公网安备11010802043465号
