摘要：本发明公开了一种TiO2薄膜光助气敏元件及其制备方法和应用。将钛酸异丙酯溶于乙醇中，在金叉指电极片上原位生长得到均匀致密的二氧化钛薄膜气敏元件。与常规的滴覆法相比，该方法制得的气敏元件在紫外光作用下显示出较佳的H2和丙酮气体的响应性能，并表现出良好的稳定性和重复性。该方法简单易行，在制备半导体光助气敏传感器方面具有较好的应用前景。
- 专利类型发明专利
- 申请人福州大学;
- 发明人戴文新;彭小英;陈旬;员汝胜;付贤智;
- 地址350002 福建省福州市鼓楼区工业路523号
- 申请号CN201510493459.4
- 申请时间2015年08月13日
- 申请公布号CN105136868A
- 申请公布时间2015年12月09日
- 分类号G01N27/12(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
