摘要:本发明公开了一种压电主动隔振机构,包括第一力传感器、弹簧波纹管、中间质量块、第一柔性铰链、压电执行器、第二力传感器、第二柔性铰链和控制器,第二力传感器的一端用于连接基础平台,其另一端依次连接所述第二力传感器、弹簧波纹管、中间质量块、第二柔性铰链、压电执行器、第一力传感器、第一柔性铰链;第一力传感器和第二压力传感器分别用于检测基础平台和负载平台的振动信号,并分别将检测的振动信号传递给控制器,以使控制器控制压电执行器施加作用力在负载平台上,从而对负载平台进行补偿。本发明采用双级串联式悬置结构,有效的降低了结构的固有频率,能够有效的抑制精密设备中的微振动低频干扰。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人陈学东;陶业英;李小清;王敏;明平光;李明;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201510482336.0
- 申请时间2015年08月07日
- 申请公布号CN105134866B
- 申请公布时间2017年03月08日
- 分类号F16F15/02(2006.01)I;F16F15/03(2006.01)I;